Phoenix 고온 필름 두께 센서

기술
온도 변동은 크리스털에서 주파수 드리프트의 가장 중요한 원인입니다. 표준 센서 헤드는 수냉식으로이 문제를 해결합니다. 많은 제조업체가 크리스탈 온도를 "약 20 ° C"로 유지하도록 권장하지만 센서에는 온도를 측정 할 수단이 없습니다. 실제 응용 분야에서는 표준 수냉식 센서가 고속 증착 동안 10 분 이내에 20 ° C 불일치를 경험할 수 있음을 보여주었습니다. 나노 미터 측정 산업에서 이러한 수준의 편차는 두께 판독 값 내에서 상당한 부정확성을 쉽게 초래합니다. 따라서 Colnatec은 Phoenix 필름 두께 센서를 고안하고 만들었습니다.

새로운 나사 고정식 크리스탈 캡 디자인 – 간단하면서도 안전
인체 공학적 트위스트 크리스탈 캡이있는 Phoenix 필름 두께 센서는 효율성, 단순성 및 내구성을 하나의 기본 디자인에 결합합니다. Phoenix는 온도 측정 기술이 포함 된 Eon-LT ™ 모니터 (PC 기반) 또는 Eon-ID ™ 컨트롤러 (통합 디스플레이 및 소프트웨어)와 함께 사용하도록 최적화되어 있습니다.

열전대 설계
열전대 설계는 온도 판독 정확도를 +/- 1 ° C 이내로 높이는 케이블 분배 노드 (챔버 측)를 사용합니다. Phoenix 필름 두께 센서는 해당 속도 및 두께 값과 함께 온도 및 주파수를 자동으로 그래프로 표시하여 최대 .001Hz의 실시간 보정 및 정확도를 허용합니다.

Phoenix 기능
기능과 신뢰성을 결합한 개선 된 열전대 설계
내장형 K 열전대
간단한 나사 식 캡으로 크리스탈 접근성 및 보안 향상
14mm 직경 크리스탈, 최대 10MHz 작동 용으로 설계됨
2.75 ConFlat 또는 KF-40 피드 스루와 함께 재고 구성으로 제공됩니다. 도 가능
무한 길이 조절이 가능한 압축 피팅 포함
맞춤형 크기, 플랜지 및 굽힘 사용 가능
크리스탈 측정을위한 표준 SMA 공기 측 연결